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        設備展示

        shebeizhanshi

        藍寶石906

        外型尺寸2.0*2.3*2.5米
        有效鍍膜空間590*950毫米
        抽氣系統分子泵+機械泵
        電源

        70KW,380V,50HZ,4PHASE

        偏壓高頻脈沖電源
        靶源數

        4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3

        控制系統可編程控制器+電腦
        鍍膜工藝溫度80~250度
        典型涂層濺射TiN氮化鈦,濺射CrN氮化鉻,DLC類金剛石等等單層,復合,納米涂層


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