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        設備展示
        
                
        shebeizhanshi
        
            
        
        
        
    
        

        

        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
                
        
                
        
                    
        藍寶石909
        
                    
        
                        
        外型尺寸2.5*2.3*3.0米
        有效鍍膜空間960*950毫米
        抽氣系統分子泵+機械泵
        電源
        80KW,380V,50HZ,5PHASE
        偏壓高頻脈沖電源
        靶源數
        4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3
        控制系統可編程控制器+電腦
        鍍膜工藝溫度80～250度
        典型涂層濺射TiN氮化鈦，濺射CrN氮化鉻，DLC類金剛石等等單層，復合，納米涂層

                            
        
                
        
                
        
            
        
            
        
        
        
    
        

        







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